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2021-01-15

航天智造——單晶硅加工線柔性輸送系統

導讀


近年來,我國單晶硅材料的制造和加工的規模與質量突飛猛進,很大程度上得益于智能制造技術的投入和發展。航天智造較早布局半導體材料的制造、加工和檢測等環節的智能裝備整體解決方案,并成功樹立了某半導體企業較為完整的自動化線標桿案例。

航天智造(上海)科技有限責任公司研究開發了AGV機器人、桁架機械手系統、積放式檢測線、激光打碼和CCD讀數的質量追溯系統,用于單晶硅生產流程中的單晶爐上下料、硅棒的截斷上下料、開方和磨倒等機加工上下料到電性能檢測和外形尺寸檢測,具備協同作業功能全、定位精度高、適應非標準工件的柔性好、積水地面和多塵及腐蝕性環境下的魯棒性強、數字化程度高等優勢,為降低該產業的人工依賴度、降低人力和管理成本,提高生產節拍和質量水平提供了卓越的生產力支撐。


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